晶圆表面灰尘检查inspection: n. 1.检查，检验；审查。 2.检阅，视察；参观。 短 ...dust: n. 1.尘，灰尘，尘土，尘埃。 2.〔英国〕垃圾，废品 ...particle: n. 1.颗粒，微粒；微量，极少量。 2.【物、数】粒子 ...wafer: n. 1.薄脆饼；薄饼一样的东西；【物、无】圆片；薄片； ...dust particle: 尘粒, 微尘下载手机词典可随时随地查词查翻译关注微信公众号：chachacidian，回复:inspection of dust particle on wafer，即可在微信中查询翻译
